隨著人們對生活品質的要求越來越高，等離子清洗機的等離子表面處理技術和工藝逐漸被各行業重視起來；而Plasma Cleaner做為這種新興工藝的載體，對其結構、原理和應用等方面的研究和探討是非常值得期待的事情。
等離子清洗機中的等離子體與自然界產生的等離子體本質上是一樣的，是區別于固體、液體和氣體的另一種物質聚集態，人們稱之為物質存在的第四種狀態。它由電離的導電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負離子、激發態的原子或分子、基態的原子或分子以及光子。
A:atom 原子，原子是組成物質的小顆粒。原子由原子核以及圍繞在原子核旁邊的電子組成。電子的極性為負。原子核極性為正,包含了中子和質子。
M：molecule分子，是獨立存在而保持物質化學性質的小粒子。分子有一定的大小和質量；分子間有一定的間隔；分子在不停的運動；分子間有一定的作用力；分子可以構成物質,分子在化學變化中還可以被分成更小的微粒：原子.分子可以隨著溫度的變化，在3態中互相轉換。
符號：*表示激發態 ；+、- 表示正負屬性
大氣(常壓)等離子清洗機產生的等離子體：工藝氣體為CDA
真空(低壓)等離子清洗機產生的等離子體：工藝氣體為O2
