等離子表面處理儀是一種利用等離子體技術對材料表面進行改性的設備，利用電子束或高頻電場將氣體轉化成等離子體，并對材料表面進行處理。在這種過程中，等離子體可以產生各種物理、化學反應，從而使表面組分發生改變，形成特定的化學鍵或功能基團。這種技術可以實現很多不同的表面改性要求，包括增加表面能、提高耐磨性、提高生物兼容性、改性電學、磁學性能等。
在制備過程中，常見的操作就是在真空側以一定的壓力、溫度、時間、氣體為參數進行處理。在加工過程中，通過等離子體對材料表面的蝕刻、注入、沉積等操作形成所需的表面改性結構或組分。
1、準備設備和材料：制備需要的主要設備有等離子放電器、氣體進料系統、真空泵等，還需要一些化學品如乙烯酸、甲基丙烯酸、過氧化氫等。在準備設備和材料時，應注意安全操作，如正確連接電路、保護器具等。
2、搭建反應裝置：將等離子放電器、氣體進料系統和真空泵等設備組裝在一起，形成一個反應裝置。在組裝時，應注意設備之間的接口密封，以確保真空環境和氣體流通暢通。
3、設定反應條件：按照所需的表面處理效果，設定等離子放電器的電壓、頻率、功率、氣體流量等反應條件。例如，用乙烯酸降低表面潤濕性時，可選擇較高的電壓和功率，較低的頻率和氣體流量，反應時間約為數分鐘。
4、進行反應處理：打開氣體進料系統和真空泵，形成較高的真空度，將待處理的材料加入反應室中，再將反應條件設定到所需的數值。開始進行反應處理，并在反應結束后關閉氣體進料系統和真空泵。
5、驗證處理效果：用適當的儀器如接觸角儀、測厚儀等驗證反應處理的效果，對處理效果不佳的樣品，可再進行重復處理或改變反應條件。同時需要進行清洗和消毒，以保持設備和材料的衛生和安全。
等離子表面處理儀不僅可以在常壓、常溫下進行表面處理，也可以在低溫、低壓、高溫、高壓等環境下進行表面處理。這種靈活性和多樣性使其在不同場合下都可以起到實質性的應用作用。目前，已經廣泛應用在很多領域中。一些在金屬、陶瓷、高分子等材料制備和加工領域中發揮了非常重要的作用。
