SAT 210  等離子表面處理儀

應用領域：等離子表面處理儀適用于材料科(ke)學(xue)、光學(xue)、光電子(zi)學(xue)、生命科(ke)學(xue)、電子(zi)學(xue)、生物醫學(xue)、高(gao)分子科學(xue)、半導體、微(wei)觀流體學(xue)等(deng)領域.

主(zhu)要應用:   1.表(biao)面清潔(jie) 2.表(biao)面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還(huan)原 6.簡(jian)單刻蝕 7.去除(chu)表(biao)面有機物  8.疏(shu)水實驗  9.沉積(ji)實驗  10.形成新的基團(tuan)  11.鍍膜(mo)前處理(li)等

主要特點：

1.實時檢測和顯示(shi)真空度,使(shi)得機器在智(zhi)能控制下有了可靠(kao)的(de)依(yi)據.

2.真空(kong)值可(ke)自(zi)由設定,(范圍(wei):1—80帕)為(wei)(wei)外加氣體(ti)提供了(le)可(ke)靠的(de)(de)輝光(guang)啟動環境,為(wei)(wei)輝光(guang)純(chun)度提供了(le)有利(li)的(de)(de)保障,保證了(le)實驗效果的(de)(de)準確性和可(ke)靠性.

3.真空腔體(ti)采用鉸鏈側開門(men)結構,帶有觀察窗,材(cai)(cai)料為(wei)6061材(cai)(cai)質.

4.真空腔體(ti)、管(guan)路、閥體(ti)全(quan)部為(wei)不銹(xiu)鋼材料.

5.電(dian)容式(shi)（CCP）激(ji)發(fa),實驗(yan)效(xiao)果穩(wen)定,均(jun)勻可靠(kao),電(dian)極板置于樣品倉內頂(ding)部懸掛.

6.觸摸屏+內置計算(suan)機(ji)顯示控制(zhi),手(shou)動(dong)\自(zi)動(dong)兩種(zhong)模(mo)式任意切換.

7.程(cheng)序(xu)化設計，預先編輯(ji)好(hao)程(cheng)序(xu)，儀器自動完成實驗.

8.利(li)用氣體電離(li)后產生(sheng)的(de)等離(li)子體的(de)反(fan)應活性與材料表面發生(sheng)的(de)物理或者化學反(fan)應，使(shi)材料表面成(cheng)分、組成(cheng)和結構(gou)發生(sheng)變化，并能得到(dao)某些特定的(de)基團(tuan)。

9.無(wu)需(xu)任何耗材，使用成本低，無(wu)需(xu)特殊進行維護，在日(ri)常(chang)使用中保持儀器清潔即可。

技術規格參數